Messung von Schichtdicken und Rauheitsprofilen

26. April 2011 – Polytec erweitert sein Produktportfolio zur Oberflächenmessung mit Punktsensoren der TMS TopSens und TMS TopLine Serie. Die Technologie der chromatisch konfokalen Sensoren erlaubt eine schnelle Charakterisierung von Oberflächen und die Bestimmung der Mikro/Nanotopographie, optische Rauheitsbestimmungen sowie die Dickenmessung von transparenten Proben.

Da die Messköpfe keine bewegten Teile enthalten, sind sie robust und wartungsfrei. Durch die neuen Punktsensoren können Anwendungen im Bereich der Elektronik und Mikroelektronik, Halbleiter, Automotive und Mikromechanik sowie der Optik-Industrie applikationsspezifisch von Polytec bedient werden.

Die TopSens Sensoren erfüllen die neue ISO 25178-Norm und können Rauheiten bis zu wenigen Nanometern messen. Rauheitsprofile lassen sich viel schneller als mit taktiler Sensorik und ohne Beeinflussung der Oberfläche erzeugen.

Das hochinnovative Messprinzip des chromatisch konfokalen Sensors erlaubt Dickenmessungen an transparenten Materialien mit hoher Genauigkeit.

Mit ihrer extrem hohen Messrate und einem durchdachten Schnittstellenkonzept lassen sich die optischen Sensoren einfach in den Fertigungsprozess oder eine vorhandene Prüfstation einbinden.

In Kombination mit 3D-Scannern ermöglichen die Punktsensoren mikro-topografische 2D- und 3D-Messungen an komplexen Strukturen mit Submikron-Genauigkeit.