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News - Bauteil-/Halbleiter-Test

Halbleiter-Testsoftware für Zuverlässigkeitsprüfung und Leistungshalbleiter

27. Januar 2012 - Keithley Instruments hat den Funktionsumfang seiner ACS Testumgebung (Automated Characterization Suite) erweitert. Die neue Version unterstützt das neue optionale Zuverlässigkeitstestmodul (Modell ACS-2600-RTM), sowie erweiterte ultraschnelle BTI-Testmöglichkeiten (Bias Temperature Instability), den Hochstromtest von Leistungsbauteilen und neue Projektbibliotheken für Hochspannungszuverlässigkeit, Ladungspumpen, sowie Puls-Stress-Zuverlässigkeits- und Stress-Migrations-Testanwendungen.

Die ACS Version 4.4 wurde hauptsächlich für die Durchführung einer automatischen Bauteilcharakterisierung und Zuverlässigkeitsanalyse mit den Instrumenten und Systemkonfigurationen des Unternehmens entwickelt. ACS V4.4 unterstützt auch das überarbeitete optionale Zuverlässigkeitstestmodul (Modell ACS-2600-RTM). Dieses vereinfacht die Erstellung und Ausführung komplexer Testfolgen, bestehend aus Stress, Messung und Analyse, in Bauteilzuverlässigkeitstests, wie beispielsweise HCI, TDDB, NBTI und J-Ramp. Das aktualisierte Software-Modul stellt den Testingenieuren alle in der Forschung und Entwicklung sowie der Produktion für die Durchführung von Bauteilzuverlässigkeitstests und Analysen benötigten Tools zur Verfügung. Dadurch wird eine höhere Testproduktivität bei der Charakterisierung einzelner Bauteile aber auch beim Test von großen Stückzahlen erreicht. ACS unterstützt die Anwender bei der Verwaltung komplexer Systemkonfigurationen, der schnellen Definition gemeinsamer Testparameter für große Bauteilgruppen oder viele Untergruppen, der Ausführung von Tests mit Ergebnisrückmeldung während der Laufzeit und der frühzeitigen Analyse sehr umfangreicher Messergebnisse.

Unterstützung für zusätzliche Pulse-Measure-Einheiten für ultraschnelle BTI-Tests
Die Anwender von Parameteranalysatoren Modell 4200-SCS von Keithley können jetzt alle sechs Pulse-Measure-Einheiten (Modell 4225-PMU) nutzen, die das System für ultraschnelle BTI-Tests unterstützt. Bisher konnten mit ACS maximal vier Einheiten gleichzeitig verwendet werden. Das ACS V4.4 Update ermöglicht dadurch einen parallelen Test von mehr Bauteilen, eine höhere Systemauslastung und eine schnellere Erfassung von BTI-Daten.

Unterstützung des neuesten SMUs von Keithley mit Optimierung für Hochleistungstests
Das ACS V4.4 Upgrade unterstützt nun auch die neuste Erweiterung der Serie 2600A, das High Power System-SourceMeter-Instrument Modell 2651A. Das Instrument ist für hohe Ströme ausgelegt (bis zu 50A bei 40V). Dies ist besonders für Labore und für Fabs interessant, die sich mit der Entwicklung und Produktion von Leistungsbauteilen mit vertikalen Strukturen, wie IGBTs (Insulated Gate Bipolar Transistor) oder doppeltdiffundierte Metalloxidhalbleiter (DMOS), befassen.

Neue Projekte für künftige Bauteiltechnologien

ACS V4.4 beinhaltet einige schlüsselfertige Testprojekte, die speziell für Hochspannungszuverlässigkeit, Ladungspumpen, Wafer-Level-Zuverlässigkeit (WLR) mit definiertem Puls/AC-Stress oder für Stress-Migrationstests (Zuverlässigkeit) entwickelt wurden. Viele Anwender können diese Projekte direkt ohne Änderungen verwenden; für andere eignen sie sich als Ausgangspunkt, um eigene Testprojekte zu entwickeln.

Verfügbarkeit

ACS V4.4 und die Wafer-Level-Zuverlässigkeits-Option Modell ACS-2600-RTM sind ab sofort erhältlich. Bestehende Anwender von ACS sollten sich mit der lokalen Vertretung von Keithley wegen eines ACS-Upgrades in Verbindung setzen.

www.keithley.com


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