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Aktuelle Test- und Messtechnik-News

Parametrisches Testsystem für Halbleiterchip-Produktion

Keithley S53005. Oktober 2021 - Tektronix stellt die neue Software-Version KTE V7.1 für das parametrische Testsystem der Serie S530 von Keithley vor und beschleunigt durch neue Fuktionen die Herstellung von Halbleiterchips. Zu den neuen, mit der Version KTE V7.1 erstmals verfügbaren Optionen zählen eine neue Paralleltestfunktion sowie eine innovative Hochspannungs-Kapazitäts-Testoption für neue Leistungs- und Wide-Bandgap-Anwendungen. KTE V7.1 verkürzt die Testzeiten gegenüber KTE V5.8 um mehr als 10 Prozent.

Die neue Version KTE V7.1 baut auf den Funktions- und Durchsatzverbesserungen auf, die das S530-System seit der Veröffentlichung von KTE 7.0 erreicht hat. Das neue Prüfkopf-Design bietet Flexibilität bei der Verwendung unterschiedlicher Prüfkopf-Karten. Die aktualisierte Soft- und Hardware ermöglicht Single-Pass-Tests und einen hohen Durchsatz. Für den Service verkürzt die kürzlich vorgestellte System Reference Unit (SRU) die Kalibrierungszeit auf weniger als acht Stunden, so dass man eine Kalibrierung in einer regulären Arbeitsschicht abschließen kann. Die SRUs lassen sich direkt oder mit einem jährlichen SSO-Serviceplan erwerben.

Signifikante Verbesserungen und Neuheiten

Parallele Testmöglichkeiten zur weiteren Produktivitätssteigerung und Senkung der Testkosten

Der S530 ist erstmals als Option in der Version KTE V7.1 erhältlich und verfügt nun über eine leistungsstarke Option für Paralleltests, die die Produktivität weiter steigert und die Testkosten mit einer geschätzten Einsparung von 30% (abhängig von Tests und Strukturen) senkt. Auf Basis der innovativen Hardware-Architektur des S530, mit der sich bis zu acht hochauflösende SMUs über jeden beliebigen Kelvin-Port bzw. jede beliebige Reihe im System mit jedem Test-Pin verbinden lassen, optimiert die Paralleltest-Software von Keithley die Effizienz aller Systemressourcen und maximiert den Testdurchsatz.

Innovative Hochspannungs-Kapazitätstests für neue Anwendungen in den Bereichen Power und Wide Bandgap

Hohe Spannungen sind für die Ingenieure von heute für den Bauelemente-Test unabdingbar. Es besteht eine wachsende Nachfrage nach Chips mit höheren Schaltgeschwindigkeiten und effizienteren Schaltvorgängen. Höhere Effizienz reduziert nicht nur den Stromverbrauch und die Wärmeentwicklung, sie ist auch besser für unsere Umwelt. Für den Test dieser Bauteile mit breitem Bandabstand bei höheren Betriebsspannungen wechseln Ingenieure vom F&E-Labor in die Fertigung. KTE V7.1 mit der Spezialoption HVCV (High Voltage Capacitance Voltage) ist ein innovatives Angebot. In Kombination mit der branchenweit einzigen Single-Pass-Prüflösung für Messungen zwischen 200V und 1000V lassen sich Kapazitäten mit einer Vorspannung von bis zu 1100V DC prüfen. Diese produktionsreife Fähigkeit ermöglicht präzise Messungen von Cdg, Cgs und Cds, die eine Charakterisierung und Prüfung der transienten Eingangs- und Ausgangsleistung eines Leistungsbauteils erlauben.

Tests mit bis zu 1100 V an jedem Pin mit einem einzigen Tastkopf-Touchdown

Neben der Fähigkeit, bis zu 1100V zu speisen und zu messen lassen sich bis zu zwei 2470 SMUs in einem S530-HV-System konfigurieren, und mithilfe der Hochspannungs-Schaltmatrix des S530-HV kann der Benutzer diese Messungen jederzeit an jedem Testpin durchführen. Dies sorgt für maximale Flexibilität und erfüllt die Pin-Out-Anforderungen einer Vielzahl von Prüflingen und -Strukturen. Zugleich entfallen die Durchsatzverzögerungen und höheren Kosten, die mit Tests in zwei Durchläufen oder dedizierten Pins verbunden sind.

Verfügbarkeit

Das parametrische Testsystem der Serie S530 ist ab sofort weltweit verfügbar. Preise erfahren Sie auf Anfrage.

www.tek.com/



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