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Optimierung dynamischer parametrischer Halbleitertests

01. Oktober 2021 - Advantest und PDF Solutions haben ihre erste gemeinsam entwickelte Lösung seit der Gründung ihrer Partnerschaft im Juli 2020 präsentiert. Das neue Advantest Cloud Solutions (ACS) „Dynamic Parametric Test (DPT) powered by PDF Exensio“ Produkt wird bereits von einem großen Halbleiterhersteller in der Fertigung eingesetzt. ACS ist eine hochsichere, skalierbare Datenplattform, die ein offenes Lösungsökosystem ermöglicht. Es unterstützt unsere Kunden bei der Bewältigung ihrer derzeit größten Herausforderungen im Umgang mit einer intelligenten Fertigungsumgebung.

Die neue Lösung integriert das Exensio-Datenanalyse-Portfolio von PDF Solutions mit dem parametrischen Testsystem V93000 von Advantest. Die ACS DPT-Lösung wurde entwickelt, um parametrische Tests auf der V93000-Testplattform mit Echtzeitleistung und minimaler menschlicher Interaktion zu optimieren. Die Testabläufe innerhalb von ACS DPT können dynamisch angepasst werden, um die Testabdeckung zu erhöhen und die Charakterisierung abweichender Messungen zu verbessern. Zudem können zusätzliche Daten effizienter gesammelt werden, was die Ursachenidentifizierung und nachgelagerte Analysen unterstützt.

Im derzeit üblichen Testablauf werden mehrere Wafer mit einem statischen Testprogramm geprüft und die gesammelten Daten gespeichert. Die getesteten Wafer werden zwischengelagert, während ein Produktingenieur die Daten analysiert. Werden Anomalien festgestellt, müssen einige Wafer mit einem geänderten Testprogramm erneut geprüft werden. Die erneute Prüfung bedenklicher Wafer kann sich verzögern, wenn die erforderlichen parametrischen Testzellen bereits im Einsatz sind. Dieser Prozess kann mehrere Tage in Anspruch nehmen, was die Gesamtkosten der Prüfung erhöht und die Markteinführung verzögert.

ACS DPT wurde entwickelt, um diesen Ablauf zu optimieren, indem der Zustand eines Wafers bei der ersten Prüfung vollständig bestimmt werden kann. Die gesammelten Daten können nahezu sofort analysiert werden, so dass der Testprozess in Echtzeit feinabgestimmt werden kann. Der mit ACS verbesserte Ansatz trägt dazu bei, dass keine weiteren Tests mehr erforderlich sind und wertvolle Zeit der Produktingenieure eingespart werden kann.

"Durch die Integration der fortschrittlichen Exensio Datenanalyse von PDF Solutions in unser bewährtes parametrisches Testsystem V93000 verbessern wir die Problemlösungskapazitäten unserer Kunden", sagt Keith Schaub, VP, Technology and Strategy bei Advantest. "Wir glauben, dass ACS DPT unseren Kunden helfen wird, die Produktqualität, den Produktionsertrag und die Kosteneffizienz zu steigern.

"Eines unserer Ziele in der Partnerschaft mit Advantest ist es, die Zugänglichkeit zu fortschrittlicher Analytik zu erweitern. Durch engere Integration mit dem Halbleitertest sind wir in der Lage, vorteilhafte Systeme und Lösungen anzubieten", sagte Kimon Michaels, EVP, Products and Solutions, und Mitbegründer von PDF Solutions. "Die von Exensio bereitgestellten Analysefunktionen soll ACS DPT ermöglichen, die benötigte Zeit für die Datenermittlung deutlich zu verkürzen und die Ursachenanalyse während des Testbetriebs zu beschleunigen, was zu einer erheblichen Zeit- und Kosteneinsparung für die Anwender führt."

Die neue ACS DPT-Lösung ist das erste ACS-Produkt zur Optimierung von IC-Tests. Lizenzen sind ab sofort für Kunden weltweit verfügbar.

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