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Hochgenaues Drahtbond-Inspektionssystem

19. Januar 2010 - Viscom ermöglicht mit dem neuen VHR-Modul in seinen Drahtbond-Inspektionssystemen die exakte Vermessung von Ball und Wedge. Damit lässt sich z. B. die Wedge-Breite von Au-Dünndrähten (25 µm) mit einer Standardabweichung ab 1 µm ermitteln. Neben der Inspektion der qualitativen Ausprägungen von Bonddrähten, Balls und Wedges können so auch die kritischen geometrischen Kriterien im Fertigungsprozess erfasst werden - und das inline und mit höchster Genauigkeit.

Viscom setzt in den Inspektionssystemen ein umfangreiches Portfolio an Algorithmen zur Erfassung geometrischer Werte bei der Drahtbondkontrolle ein. Bei Golddraht-Bonds mit Durchmessern unter 25 µm kommt das Viscom VHR-Modul zum Einsatz. Die spezielle Beleuchtungstechnik dieses Kameramoduls arbeitet die Größenverhältnisse exakt heraus. Der Vorteil des Viscom-Verfahrens liegt in der hohen Genauigkeit. Bei einer Auflösung des VHR-Moduls mit ca. 3 µm pro Pixel können Standardabweichungen für die Wedge-Breite von 1 µm realisiert werden. Auch ohne optional einschaltbares Subpixeling wird so die Spannweite der Messwerte auf maximal 1 Pixel begrenzt.

Das bedeutet für den Anwender, dass jede Veränderung im Bondprozess nachvollzogen und eine Fehlentwicklung sofort korrigiert werden kann. Die Qualität in der Fertigung wird so aktiv verbessert. Damit erfüllt Viscom auch die strengen Anforderungen der Kfz-Zulieferindustrie. Hier gilt für Dünndraht-Wedges eine maximale Breitentoleranz von nur wenigen µm bei einem Vertrauensbereich von 3 σ, also der dreifachen Standardabweichung.

Aber die hohe Qualität bietet nicht nur Vorteile in der Fertigung von Großserien. Gerade auch Branchen mit kleinen Losen aber komplexen Schaltungen profitieren von der zuverlässigen Einhaltung der festgelegten geometrischen Kriterien. Solche Branchen sind zum Beispiel die Luft- und Raumfahrtindustrie oder bestimmte Bereiche in der Medizintechnik.

Das Inspektionsverfahren steht für alle Drahtbond-Inspektionssysteme von Viscom zur Verfügung. Mit Hilfe der statistischen Prozesskontrolle VPC können die Messdaten sofort abgerufen und Eingriffsgrenzen definiert werden.

www.viscom.com/de